SJ/T 10311-1992
低圧化学蒸着装置の一般的な技術条件 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 10311-1992
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1992
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 最新版
- SJ/T 10311-1992
- 範囲
- この規格は、水平型ホットウォール低圧化学蒸着装置の設計、製造、およびプロセスの適用に適用されます。 他の形式の LPCVD 装置の開発も参考にしてください。
SJ/T 10311-1992 発売履歴
- 1992 SJ/T 10311-1992 低圧化学蒸着装置の一般的な技術条件
