SJ/T 11181-1998
精製接着テーブルの一般仕様 (英語版)

規格番号

SJ/T 11181-1998

言語

中国語版, 英語で利用可能

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 11181-1998

範囲

この規格は、精製コーティングテーブルの定義、要件、試験方法、検査規則とマーキング、梱包、輸送および保管を指定します。 この規格は半導体集積回路製造専用の精製・接着装置に適用されますが、他の種類の接着装置も参考にできます。

SJ/T 11181-1998 発売履歴

• 1970 SJ/T 11181-1998 精製接着テーブルの一般仕様