SJ/T 31069-1994
PRS-801 プラズマグルーリムーバーの完全性要件と検査および評価方法 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 31069-1994
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 状態
- 2010-02
- 最新版
- SJ/T 31069-1994
- 範囲
- この規格は、半導体デバイス集積回路の製造に使用されるプラズマ接着除去機の完全性要件と検査および評価方法を規定しています。 この規格は PRS-801 プラズマグルーリムーバーに適用されます。
SJ/T 31069-1994 発売履歴
- 1970 SJ/T 31069-1994 PRS-801 プラズマグルーリムーバーの完全性要件と検査および評価方法
