SJ 20714-1998
ガリウムヒ素研磨ウェーハのサブダメージ層のX線双結晶回折試験方法 (英語版)

規格番号

SJ 20714-1998

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1998

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ 20714-1998

範囲

この規格は、ガリウムヒ素研磨シートのサブダメージ層の X 線双結晶回折試験方法を規定しています。 この規格は、片面および両面が化学的および機械的に研磨されたガリウムヒ素ウェーハのサブダメージ層の定性的測定に適用されます。

SJ 20714-1998 発売履歴

• 1998 SJ 20714-1998 ガリウムヒ素研磨ウェーハのサブダメージ層のX線双結晶回折試験方法