SJ 3248-1989
高濃度ドープガリウムヒ素およびインジウムリンのキャリア濃度の赤外線反射試験方法 (英語版)

規格番号

SJ 3248-1989

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1989

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ 3248-1989

範囲

この規格は、赤外線反射法を使用して高濃度にドープされたガリウムヒ素およびリン化インジウムのキャリア濃度を測定するための、測定原理、機器、サンプル前処理、および測定手順を規定しています。 結果の計算と精度などこの標準は、高濃度にドープされたガリウムヒ素およびリン化インジウム単結晶のキャリア濃度の測定に適しており、またエピタキシャル層のキャリア濃度の測定にも適しています。

SJ 3248-1989 発売履歴

• 1989 SJ 3248-1989 高濃度ドープガリウムヒ素およびインジウムリンのキャリア濃度の赤外線反射試験方法