SJ 3244.3-1989
ガリウムヒ素およびインジウムリン単結晶の結晶方位の測定方法 (英語版)

規格番号

SJ 3244.3-1989

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1989

出版団体

Professional Standard - Electron

状態

撤回 2010-02

最新版

SJ 3244.3-1989

範囲

この規格は、ガリウムヒ素およびリン化インジウムの単結晶インゴット端面およびウェーハの結晶方位のX線回折の測定原理、測定手順、結果の計算および精度を規定しています。 この規格は、表面が特定の低ミラー指数原子面に対してほぼ平行 (10^(・) 以内) である単結晶ウェーハの結晶方位の決定に適用されます。

SJ 3244.3-1989 発売履歴

• 1989 SJ 3244.3-1989 ガリウムヒ素およびインジウムリン単結晶の結晶方位の測定方法