KS I ISO 14644-16:2021
クリーン ルームと関連する管理環境 パート 16: クリーン ルームと分離ユニットのエネルギー効率

規格番号

KS I ISO 14644-16:2021

制定年

2021

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS I ISO 14644-16:2021

KS I ISO 14644-16:2021 発売履歴

• 2021 KS I ISO 14644-16:2021 クリーン ルームと関連する管理環境 パート 16: クリーン ルームと分離ユニットのエネルギー効率