UNE-EN ISO 23216:2023
炭素系フィルム 分光エリプソメトリーによるアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定

規格番号

UNE-EN ISO 23216:2023

制定年

2023

出版団体

ES-UNE

最新版

UNE-EN ISO 23216:2023

UNE-EN ISO 23216:2023 発売履歴

• 2023 UNE-EN ISO 23216:2023 炭素系フィルム 分光エリプソメトリーによるアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定