EN ISO 23131:2022
エリプソメトリーの原理

規格番号

EN ISO 23131:2022

制定年

2022

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

状態

撤回 2023-05

最新版

EN ISO 23131:2022

範囲

この文書は、認定試験機関によるアットライン生産管理、品質保証、材料開発の分野における層の厚さだけでなく、UV-VIS-NIR スペクトル範囲における光学定数と誘電率を決定する方法を規定しています。 -単独測定システム 結果の不確かさの表示は ISO/IEC ガイド 98-3 に準拠しています。

EN ISO 23131:2022 発売履歴

• 2022 EN ISO 23131:2022 エリプソメトリーの原理