PN M43853-1991
真空技術ターボ分子ポンプ。 性能特性の測定方法

規格番号

PN M43853-1991

制定年

1991

出版団体

PL-PKN

最新版

PN M43853-1991

範囲

標準の主題は何ですか?真空ターボ分子ポンプの基本パラメータをテストする方法: a) 排気速度の決定、b) 最終圧力の測定、c) 圧縮比の決定、d) 最大作動圧力の測定、e) 始動時間の測定、f ）振動測定。 なぜなら？ターボ分子ポンプの用途は広範囲の圧力をカバーしており、これらのポンプの試験方法はさまざまです。 し？達成される入口圧力の範囲に応じて異なります。 際立っている2 つの圧力範囲: 　——10-4 Pa 以上、- 10-4 Pa 以下。

PN M43853-1991 発売履歴

• 1991 PN M43853-1991 真空技術ターボ分子ポンプ。 性能特性の測定方法