T/CSTM 00537-2021
マイクロ・ナノ薄膜の相転移温度を測定する光パワー解析法 (英語版)

規格番号

T/CSTM 00537-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CSTM 00537-2021

範囲

この文書は、光パワー分析を使用して薄膜材料の相転移温度を試験するための、用語と定義、原理、機器と試薬、サンプル処理、機器の校正、試験プロセス、データ処理、不確実性評価および試験レポートを規定します。 この文書は、厚さ 5nm ～ 100μm の薄膜材料の相変化温度をテストするのに適しています。 薄膜材料は、相変化の前後で異なる光反射率を持ち、室温で加熱したときに分解または揮発しない必要があります。 試験温度帯。 厚さ100μmを超える材料は実装を参照できます。

T/CSTM 00537-2021 発売履歴

• 2021 T/CSTM 00537-2021 マイクロ・ナノ薄膜の相転移温度を測定する光パワー解析法