JB/T 2965-1992
スパッタイオンポンプの性能試験方法 (英語版)
- 規格番号
- JB/T 2965-1992
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1992
- 出版団体
- Professional Standard - Machinery
- 状態
- 最新版
- JB/T 2965-1992
- 交換する
- JB 2965-1981
- 範囲
- この規格は、スパッタ イオン ポンプの性能試験方法を規定しています。 この規格は、排気速度が 10Ls(-1) を超えるイオン ポンプに適用されます。
JB/T 2965-1992 発売履歴
- 1992 JB/T 2965-1992 スパッタイオンポンプの性能試験方法
- 0000 JB 2965-1981
