JB/T 4081-1991
スパッタリングイオンポンプの種類と基本パラメータ (英語版)
- 規格番号
- JB/T 4081-1991
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1991
- 出版団体
- Professional Standard - Machinery
- 状態
- 2012-04
- に置き換えられる
- JB/T 4081-2011
- 最新版
- JB/T 4081-2011
- 範囲
- この規格は、一般的なタイプのスパッタ イオン ポンプのタイプと基本パラメータを指定します。 この規格は、2 電位ダイオードおよび 3 極スパッタ サブポンプに適用されます。
JB/T 4081-1991 発売履歴
- 2011 JB/T 4081-2011 真空技術スパッタイオンポンプ
- 1991 JB/T 4081-1991 スパッタリングイオンポンプの種類と基本パラメータ
