BH GSO IEC 62047-11:2022
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 11: 微小電気機械システム用自立材料の線熱膨張係数の試験方法

規格番号

BH GSO IEC 62047-11:2022

出版団体

GSO

最新版

BH GSO IEC 62047-11:2022

BH GSO IEC 62047-11:2022 発売履歴

• 1970 BH GSO IEC 62047-11:2022 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 11: 微小電気機械システム用自立材料の線熱膨張係数の試験方法