JB/T 5631-1991
半導体デバイスエピタキシャル炉エネルギー消費基準 (英語版)
- 規格番号
- JB/T 5631-1991
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1992
- 出版団体
- Professional Standard - Machinery
- 状態
- 最新版
- JB/T 5631-1991
JB/T 5631-1991 発売履歴
- 1992 JB/T 5631-1991 半導体デバイスエピタキシャル炉エネルギー消費基準
