T/ZZB 0093-2016
集積回路用高純度チタンスパッタリングターゲット (英語版)

規格番号

T/ZZB 0093-2016

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2016

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ZZB 0093-2016

範囲

この規格は、集積回路用の高純度チタンスパッタリングターゲットの用語、定義、基本要件、技術要件、試験方法、検査規則とマーキング、梱包、輸送、保管、品質保証およびサービス保証を規定しています。 この規格は、集積回路の電子薄膜の製造に使用されるさまざまなチタンスパッタリングターゲットに適用されます。

T/ZZB 0093-2016 発売履歴

• 2016 T/ZZB 0093-2016 集積回路用高純度チタンスパッタリングターゲット