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- ASTM F2166-02
- 規格番号
- ASTM F2166-02
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F2166-02
- 範囲
- 1.1 これらの実践では、コロナを使用する非接触誘電特性評価システム (NCDCS) の性能を制御および監視するための、特別な電気的および物理的特性を持つウェーハの使用について説明します。
熱酸化ウェーハは、温度バイアスストレスと大気への曝露によるパラメトリックドリフトのため、この目的には十分ではありません。
さまざまな実験配置をカバーするために 3 つの方法が説明されています (2 つの異なるタイプのコロナに関する説明については、付録 X1 を参照してください)。
1.1.1 方法 A - 点源コロナを使用するシステムの場合、1.1.2 方法 B - 線源コロナを使用し、パラメータの完全なセットを取得するようにプログラムできるシステムの場合、および 1.1.3 方法 C - を使用するシステムの場合線源コロナですが、測定できるのは移動イオン密度のみです。
1.2 初期表面電圧 (Vsurf または Vcpd)、フラットバンド電圧 (Vfb)、実効電荷 (Qeff)、界面トラップの密度 (Dit)、移動電荷 (Qm) など、これらの誘電体特性評価システムの選択された性能を決定するために特別なリファレンス ウェーハが使用されます。
）、および電気誘電体の厚さ（Tox）。
1.3 これらの測定によって得られた結果は、ウェーハの取り扱いやソフトウェア アルゴリズムの問題を明らかにするために使用することもできます。
1.4 この実践の手順は、誘電特性評価システムが ISO 9000 品質プログラムなどの品質管理要件を満たしていることを確認するために使用できます。
1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM F2166-02 規範的参照
ASTM F2166-02 発売履歴
