T/CSTM 00003-2019
原子間力顕微鏡を使用した二次元材料厚さ測定 (英語版)

規格番号

T/CSTM 00003-2019

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2019

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CSTM 00003-2019

範囲

この規格は、二次元材料厚さ測定原子間力顕微鏡法の原理、機器および装置、サンプルの前処理、試験方法、厚さ計算方法、測定結果の不確かさ評価および試験報告書を規定しています。 この規格は、基板と段差を形成する可能性のある二次元材料の厚さ測定に適用されます。

T/CSTM 00003-2019 発売履歴

• 2019 T/CSTM 00003-2019 原子間力顕微鏡を使用した二次元材料厚さ測定