JB/T 4082-1991
スパッタリングイオンポンプの技術条件 (英語版)
- 規格番号
- JB/T 4082-1991
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1991
- 出版団体
- Professional Standard - Machinery
- 状態
- 2012-04
- に置き換えられる
- JB/T 4081-2011
- 最新版
- JB/T 4081-2011
- 範囲
- この規格は、一般的なスパッタイオンポンプの技術的要件、検査規定、試験方法、梱包、保管等を規定したものです。 この規格は、JB/T 4081 に規定されている 2 段式 (L 型) および 3 極型 (3L 型) のスパッタ イオン ポンプに適用されます。
JB/T 4082-1991 発売履歴
- 2011 JB/T 4081-2011 真空技術スパッタイオンポンプ
- 1991 JB/T 4082-1991 スパッタリングイオンポンプの技術条件
JB/T 4082-1991 スパッタリングイオンポンプの技術条件 は JB/T 4081-2011 真空技術スパッタイオンポンプ に変更されます。
