GB/T 36401-2018
表面化学分析報告書 X線光電子分光法による薄膜分析結果 (英語版)

規格番号

GB/T 36401-2018

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2018

出版団体

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

最新版

GB/T 36401-2018

範囲

この国際規格は、XPS を使用した基板上の薄膜の分析を報告するために必要な最小限の情報を規定しています。 これらの分析には、均一な膜の化学組成と厚さの測定、および不均一な膜の化学組成の測定が含まれます。 可変角度 XPS、XPS スパッタリング深さプロファイリング、ピーク形状分析、および可変光子エネルギー XPS による深さの関数。

GB/T 36401-2018 規範的参照

• ISO 18115-1:2010 表面化学分析 用語集 パート 1: 一般用語と分光学的用語

GB/T 36401-2018 発売履歴

• 2018 GB/T 36401-2018 表面化学分析報告書 X線光電子分光法による薄膜分析結果