SJ 1794-1981
半導体デバイス製造用拡散炉 一般的な技術条件 (英語版)

規格番号

SJ 1794-1981

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1981

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ 1794-1981

SJ 1794-1981 発売履歴

• 1981 SJ 1794-1981 半導体デバイス製造用拡散炉 一般的な技術条件