DIN EN ISO 23216:2023
炭素系フィルム 分光エリプソメトリーによるアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定 (ISO 23216:2021)
- 規格番号
- DIN EN ISO 23216:2023
- 制定年
- 2023
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN EN ISO 23216:2023
DIN EN ISO 23216:2023 発売履歴
- 2023 DIN EN ISO 23216:2023-01 炭素系膜 - 分光エリプソメトリーによるアモルファス炭素膜の光学特性の測定
- 1970 DIN EN ISO 23216 E:2022-08 炭素系膜 分光エリプソメトリーによるアモルファス炭素膜の光学特性の測定（案）
