YS/T 14-1991
ヘテロエピタキシャル層およびシリコン多結晶層の厚さの測定方法 (英語版)

規格番号

YS/T 14-1991

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1991

出版団体

Professional Standard - Non-ferrous Metal

状態

入れ替わる 2015-10

に置き換えられる

YS/T 14-2015

最新版

YS/T 14-2015

YS/T 14-1991 発売履歴

• 2015 YS/T 14-2015 ヘテロエピタキシャル層およびシリコン多結晶層の厚さの測定方法
• 1991 YS/T 14-1991 ヘテロエピタキシャル層およびシリコン多結晶層の厚さの測定方法