T/ZZB 2675-2022
TVS用シリコン単結晶研磨ディスク (英語版)

規格番号
T/ZZB 2675-2022
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2022
出版団体
Group Standards of the People's Republic of China
最新版
T/ZZB 2675-2022
範囲
この文書には、用語と定義、製品分類、基本要件、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送と保管、注文(または契約)内容、および品質への取り組みが規定されています。 本資料は、電子グレードのポリシリコンを主原料としてチョクラルスキー法により作製された直径100mm、125mm、150mmのシリコン単結晶研削ウェーハを対象としています。

T/ZZB 2675-2022 発売履歴

TVS用シリコン単結晶研磨ディスク



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