T/CSTA 0052-2023
半導体製造装置用超高純度ステンレス棒 (英語版)

規格番号

T/CSTA 0052-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CSTA 0052-2023

範囲

この規格書は、超高純度ステンレス鋼棒（丸鋼、角鋼、平鋼、六角鋼の総称。 以下、半導体製造装置用鋼棒）、検査規定、パッケージング、ロゴ、品質証明書など。 この書類は、寸法（直径、辺の長さ、厚さ又は対辺間の距離、以下「寸法」という。 ）以下の超高純度ステンレス鋼の熱間圧延棒鋼、冷間引抜素材及び冷間引抜棒鋼に適用する。 半導体製造装置のバルブや鋼管などに150mm。

T/CSTA 0052-2023 発売履歴

• 2023 T/CSTA 0052-2023 半導体製造装置用超高純度ステンレス棒