International Organization for Standardization (ISO)
最新版
ISO 20486:2017
範囲
この文書は、日常使用において漏れ率を測定するための漏れ検出器の調整に使用される漏れの校正を指定します。
校正方法の 1 つのタイプは、基準リークとの比較です。
このようにして、日常的な使用に使用される漏れを一次標準まで追跡できるようになります。
他の校正方法では、蒸気圧の値が直接測定されるか、既知の体積に対して計算されます。
このテストガスは質量分析計リークディテクタ (MSLD) によって選択的に測定できるため、比較手順はヘリウムリークに適用することが好ましい (MSLD の定義は比較によるキャリブレーションに記載されています (以下の方法 A、As、B、および Bs を参照))。
既知の基準リークを使用したリザーバとリーク率が 10−7 Pa・m3/s 未満のリークについては、簡単に実行可能です。
図 1 に、さまざまな推奨校正方法の概要を示します。
a) 比較による校正 b) 直接測定による校正 Key X漏れ率 (Pa・m3/s) C メソッド CA メソッド AD メソッド DB メソッド BE メソッド E As メソッド As F メソッド F Bs メソッド Bs G メソッド G 正常範囲可能な範囲 図 1 — 校正範囲