JEDEC JESD214-2015
等温エージング法を使用した銅配線メタライゼーションにおける応力誘起ボイドの特性評価
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JEDEC JESD214-2015
規格番号
JEDEC JESD214-2015
制定年
2015
出版団体
(U.S.) Joint Electron Device Engineering Council Soild State Technology Association
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