JEITA EM3603B-2006
SOI ウェーハの規格と計測学

規格番号

JEITA EM3603B-2006

制定年

2006

出版団体

JP-JEITA

範囲

この規格は、MOS デバイス用の薄膜 SOI ウェーハとその計測の規格を規定しています。