PAS 135-2007
ナノファブリケーションで使用される用語

規格番号

PAS 135-2007

制定年

2007

出版団体

British Standards Institution (BSI)

範囲

この公開仕様書 (PAS) には、本文書全体でナノ製造として知られる、ナノスケール寸法のコンポーネント、デバイス、構造またはシステムの製造に対するナノテクノロジーの応用の命名または説明に使用される、またはそれに関連して使用される用語と定義がリストされています。 この用語は、特に、通常 100 nm 未満で 1 次元を超える構造およびデバイス要素の製造に関連します。 これは、電気、電子、磁気、機械、光学部品、デバイス、構造およびシステムの製造ツールおよび製造技術、およびナノスケール要素からのより大きな構造、部品、デバイスおよびシステムの製造に適用可能であるが、これらに限定されない。 注 ナノリソグラフィーという用語は、ナノファブリケーションの同義語として使用される人もいます。 この文書では、ナノリソグラフィーはナノ加工プロセスの一部とみなされます。 この PAS は、技術者、規制当局、非政府組織 (NGO)、消費者団体、一般の人々、および対象分野におけるナノテクノロジーの応用または使用に関心を持つその他の人々による使用を目的としています。 注 ナノ粒子の製造は PAS 71:2005 でカバーされています。