JEDEC JESD87-2001
AICuメタライゼーションバリア材料の構造信頼性評価と標準試験

規格番号

JEDEC JESD87-2001

制定年

2001

出版団体

(U.S.) Joint Electron Device Engineering Council Soild State Technology Association

範囲

この文書では、アルミニウム - 銅、高融点金属バリア相互接続システムの信頼性を評価するために必要なテスト構造の設計について説明します。 これには、高融点金属バリアまたは他のバリア材料が、アルミニウムおよび/または銅の金属イオンの流れが相互接続層間で移動するのを防ぐ、あらゆる金属相互接続システムが含まれます。 バリア材料は、次の場所の 1 つまたはすべてに存在する可能性があります。