ANSI/CGA G-13-2006
シランおよびシラン混合物の保管と取り扱い

規格番号

ANSI/CGA G-13-2006

制定年

2006

出版団体

American National Standards Institute （ANSI)

範囲

シランメーカー、サプライヤー、エンドユーザーに適用できる実際的な方法を含め、シランとシラン混合物の保管と取り扱いについて説明します。 G-13 は、半導体ユーザーコミュニティ向けのシリンダーおよびバルクシラン供給システムに取り組んでいます。 ユーザーサイトでの保管と取り扱い、製造施設の配水管に至るまでの相互接続配管システムのガイドラインが含まれます。 セットバック距離は、熱放射と、点火の遅れによる爆発の影響によって生じる過圧力に基づいて推奨されます。

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