16/30348371 DC
BS ISO 14644-12 クリーンルームおよび関連する制御環境における空気清浄度の仕様パート 12 ナノスケール粒子濃度のモニタリング
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規格番号
16/30348371 DC
制定年
2016
出版団体
British Standards Institution (BSI)
最新版
16/30348371 DC
16/30348371 DC 発売履歴
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