規格と仕様
この文書は、電子産業で使用されるガスペンタフルオロエタン(以下、ペンタフルオロエタンという)の技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、包装、輸送および保管、安全性を規定しています。 この文書は、工業用ペンタフルオロエタンを原料として精製、調製され、電子産業のプラズマエッチングプロセスにおいてエッチングガスとして使用される電子産業用ペンタフルオロエタンに適用されます。
© 著作権 2025