T/CHBAS 48-2023
電子産業用ガスペンタフルオロエタン (英語版)

規格番号
T/CHBAS 48-2023
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2023
出版団体
Group Standards of the People's Republic of China
最新版
T/CHBAS 48-2023
 

 

範囲

この文書は、電子産業で使用されるガスペンタフルオロエタン(以下、ペンタフルオロエタンという)の技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、包装、輸送および保管、安全性を規定しています。 この文書は、工業用ペンタフルオロエタンを原料として精製、調製され、電子産業のプラズマエッチングプロセスにおいてエッチングガスとして使用される電子産業用ペンタフルオロエタンに適用されます。

T/CHBAS 48-2023 発売履歴


テーマ別の基準

規格と仕様




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