23/30454374 DC
BS EN IEC 62047-47 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 47 部 シリコンベースの MEMS 製造技術 微細構造体の曲げ強度の測定方法

規格番号

23/30454374 DC

制定年

2023

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

23/30454374 DC

23/30454374 DC 発売履歴

• 0000 23/30454374 DC