TS 61994-4-4 (REDLINE + STANDARD)-2018
周波数制御の選択と検出のための圧電誘電体および静電デバイスおよび関連資料の用語集 第 4-4 部: 表面弾性波 (SAW) デバイス用の圧電材料単結晶ウェハ (第 3.0 版)

規格番号

TS 61994-4-4 (REDLINE + STANDARD)-2018

制定年

2018

出版団体

IEC - International Electrotechnical Commission

範囲

IEC 61994 のこの部分は、最先端の表面弾性波 (SAW) デバイスに適用される単結晶ウェーハの用語と定義を示しています@