KS C 0256-2002(2017)
四探針を用いたシリコン結晶およびシリコンウェーハの抵抗率試験方法

規格番号

KS C 0256-2002(2017)

制定年

2002

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2022-01

に置き換えられる

KS C 0256-2022

最新版

KS C 0256-2022

KS C 0256-2002(2017) 発売履歴

• 2022 KS C 0256-2022 四探針によるシリコン結晶およびシリコンウェーハの抵抗率の試験方法
• 0000 KS C 0256-2002(2017)
• 2002 KS C 0256-2002 4探針法によるシリコン単結晶およびシリコンウェーハの比抵抗測定方法
• 0000 KS C 0256-1999