KS D 0260-1989(1994)
四探針による単結晶シリコンウェーハの抵抗率検査方法

規格番号

KS D 0260-1989(1994)

制定年

1989

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

撤回

に置き換えられる

KS D 0260-1999

最新版

KS D 0260-1999

KS D 0260-1989(1994) 発売履歴

• 1999 KS D 0260-1999 単結晶シリコンウェーハの抵抗率を検査するための四探針法
• 0000 KS D 0260-1989(1994)