KS I ISO 14644-10-2019
クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類

規格番号

KS I ISO 14644-10-2019

制定年

2019

出版団体

KR-KS

最新版

KS I ISO 14644-10-2019

KS I ISO 14644-10-2019 発売履歴

• 2019 KS I ISO 14644-10:2019 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類
• 2014 KS I ISO 14644-10:2014 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類