TR21.0-01-2018
フラットパネルディスプレイ製造におけるESD制御の課題への対処

規格番号

TR21.0-01-2018

制定年

2018

出版団体

ESD - ESD ASSOCIATION

範囲

フラット パネル ディスプレイ (FPD) 業界における ESD は、主に FPD テクノロジーの変化とベア ガラス基板のサイズが継続的に増加していることにより、ますます重要な問題となっています。 FPD 業界が始まって以来、工場内の静電気レベルを制御する必要がありました。 FPD メーカーごとに異なる ESD 制御戦略があり、異なる ESD 対策を展開していました。 残念ながら、FPD の真の感度と ESD 制御技術の有効性を理解するための統一された試みはありませんでした。 この技術レポートでは、FPD 製造における静電気に関連するより重要な問題のいくつかについて説明します。 FPD@ の静電気関連の問題を説明するために、作業グループは WG メンバーの最近の出版物を 1 つの技術レポート (TR) にまとめることにしました。 TR の目的は、FPD 製造環境における静電気関連の問題の例を読者に提供することです。 将来の文書では、FPD デバイスのテスト方法を開発する予定です。