IEEE/IEC P62659_D2
ナノエレクトロニクスデバイスの大規模製造に関するIEEE/IEC規格草案

規格番号

IEEE/IEC P62659_D2

制定年

2013

出版団体

Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

範囲

この規格は、確立された半導体工場 (ファブ) での大規模大量製造にグラフェンなどのナノマテリアルを導入するためのフレームワークを提供します。 半導体工場では高い歩留まりを維持する実践を組み込む必要があるため、製造の実行方法には非常に厳しい要件があります。 ナノマテリアルは、半導体製造工場における潜在的な汚染物質であり、...