BS EN 62047-5:2011(2012)
半導体デバイス 微小電気機械デバイス パート 5: RF MEMS スイッチ

規格番号

BS EN 62047-5:2011(2012)

制定年

1970

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN 62047-5:2011(2012)

BS EN 62047-5:2011(2012) 発売履歴

• 0000 BS EN 62047-5:2011(2012)
• 2011 BS EN 62047-5:2011 半導体デバイス、マイクロ電子機械デバイス、高周波マイクロ電気機械コンバータ