ISO/CD 25178-603
幾何学的製品仕様 (GPS) 表面テクスチャ: 平面 セクション 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) 機器の公称特性

規格番号

ISO/CD 25178-603

制定年

2010

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)