KS C 0256-2002(2022)
シリコン結晶およびシリコンウェーハの抵抗率の四探針試験方法

規格番号

KS C 0256-2002(2022)

制定年

2002

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS C 0256-2002(2022)

KS C 0256-2002(2022) 発売履歴

• 2022 KS C 0256-2022 四探針によるシリコン結晶およびシリコンウェーハの抵抗率の試験方法
• 0000 KS C 0256-2002(2017)
• 2002 KS C 0256-2002 4探針法によるシリコン単結晶およびシリコンウェーハの比抵抗測定方法
• 0000 KS C 0256-1999