ASTM E986-04(2024)
走査型電子顕微鏡のビームサイズ特性評価の標準的な手法

規格番号
ASTM E986-04(2024)
制定年
2024
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
最新版
ASTM E986-04(2024)
 

 

導入
アメリカ材料試験協会(ASTM)が2024年4月1日に発行した「スキャニング電子顕微鏡のビームサイズ特性評価に関する標準実践」は、標準番号ASTM E986-04(2024)を有しています。この標準は、スキャニング電子顕微鏡(SEM)による材料試験におけるビームサイズの特性評価方法について定めています。SEMを使用して材料や表面の詳細な観察を行う際、正確なビームサイズの把握が欠かせません。本標準は、さまざまな試料に対して最適なSEM操作パラメータを決定するための手順を提供し、研究開発や製造プロセスにおける品質管理に有用です。

ASTM E986-04(2024) 発売履歴

  • 2024 ASTM E986-04(2024) 走査型電子顕微鏡のビームサイズ特性評価の標準的な手法
  • 2017 ASTM E986-04(2017) 走査型電子顕微鏡におけるビームサイズ特性評価の標準的な手法
  • 2004 ASTM E986-04(2010) 走査型電子顕微鏡におけるビームサイズ特性評価の標準的な手法
  • 2004 ASTM E986-04 走査型電子顕微鏡におけるビームサイズ特性評価の標準的な手法
  • 1997 ASTM E986-97 走査型電子顕微鏡におけるビームサイズ特性評価の標準的な手法

テーマ別の基準

規格と仕様




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