導入アメリカ材料試験協会(ASTM)が2024年4月1日に発行した「スキャニング電子顕微鏡のビームサイズ特性評価に関する標準実践」は、標準番号ASTM E986-04(2024)を有しています。この標準は、スキャニング電子顕微鏡(SEM)による材料試験におけるビームサイズの特性評価方法について定めています。SEMを使用して材料や表面の詳細な観察を行う際、正確なビームサイズの把握が欠かせません。本標準は、さまざまな試料に対して最適なSEM操作パラメータを決定するための手順を提供し、研究開発や製造プロセスにおける品質管理に有用です。
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